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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109865642A(43)申请公布日2019.06.11(21)申请号201711269601.2(22)申请日2017.12.05(71)申请人株洲中车时代电气股份有限公司地址412001湖南省株洲市石峰区时代路169号(72)发明人刘月雷田水宝尤新勇(74)专利代理机构北京聿宏知识产权代理有限公司11372代理人吴大建何娇(51)Int.Cl.B05C13/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图6页(54)发明名称一种芯片中心定位夹具(57)摘要本发明涉及一种芯片中心定位夹具,包括置于芯片底部用于支撑芯片的支撑架和位于支撑架上方用于卡固芯片外缘的钳位板,支撑架,包括基础支架和调节头,所述调节头设置在基础支架的一侧且能够相对基础支架水平活动改变基础支架的支撑范围;钳位板,包括基础板和组合板,所述组合板能够拆卸式的固定在基础板的一端用于改变钳位板的卡固半径。本发明对夹具的支撑架和钳位板进行更改,使夹具适用于不同直径芯片的工装,可以实现多种规格芯片不同夹具的兼容,大大的缩短更换夹具的时间,提高设备的利用效率,降低故障率,使夹具尺寸更换操作更方便、更简单、更省时;此外该夹具工装制作简单,成本较低。CN109865642ACN109865642A权利要求书1/1页1.一种芯片中心定位夹具,其特征在于,包括置于芯片底部用于支撑芯片的支撑架和位于支撑架上方用于卡固芯片外缘的钳位板,其中,支撑架,包括基础支架和调节头,所述调节头设置在基础支架的一侧且能够相对基础支架水平活动,改变基础支架的支撑芯片的直径范围;钳位板,包括基础板和组合板,所述组合板能够拆卸式的固定在基础板的一端用于改变基础板的卡固半径。2.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述调节头的底部设有滑槽,所述调节头上设有多个螺钉孔;所述基础支架的一侧插入滑槽内并与基础支架上的任一螺钉孔通过螺钉固定。3.根据权利要求2所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述螺钉孔为沉孔,所述多个螺钉孔之间相通。4.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述调节头铰接在所述基础支架的一侧并能相对基础支架水平转动。5.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述调节头的端部向芯片方向凸设有与芯片相接触的压块,所述压块的材料硬度小于芯片的材料硬度。6.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述基础支架的一侧具有两个支撑杆,每一支撑杆上设有一个所述调节头。7.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述基础板的一端设有与芯片弧度相匹配的钳位弧度;所述组合板的两侧也设有与芯片弧度相匹配的钳位弧度,所述组合板的一侧与基础板相贴合,另一侧与芯片的外缘贴合。8.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述组合板一侧的上端面水平延伸出安装板,所述安装板与基础板通过螺钉固定连接。9.根据权利要求1所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述基础板和组合板的材料硬度均小于芯片的材料硬度。10.根据权利要求1-9任一项所述的芯片中心定位夹具,其特征在于,所述支撑架和钳位板各具有两组且相对设置。2CN109865642A说明书1/4页一种芯片中心定位夹具技术领域[0001]本发明属于定位装置领域,具体涉及一种能够适用多种直径尺寸芯片的中心定位夹具。背景技术[0002]将光刻胶均匀的涂覆在高速旋转的芯片表面上即为匀胶过程;然而在匀胶一系列的操作过程中,其中一步非常关键,就是在芯片随电机7高速旋转之前对其进行中心定位,从而以保障芯片在高速旋转时不会因离心力而脱离真空吸附的承片台4。中心定位夹具工装是实现芯片在设备上中心位置准确定位的装置,芯片位置的准确性取决于设备工装对准位的调整。如图7所示,为传统的中心定位夹具工装的组合图,支撑架1用来支撑芯片3,钳位板2用于定位芯片3的位置。[0003]然而,芯片的产品种类和规格繁多,传统的中心定位夹具存在以下问题:[0004]如图8至图11所示,支撑架1与钳位板2的技术规格与芯片一一对应,不同直径大小的芯片3所对应的支撑架1的长度不同;不同直径大小的芯片3所对应的钳位板2的整体长度也不同;而产线的芯片3规格有很多种,因此不同直径大小的芯片3需要配套不同的支撑架1与钳位板2,那么在对不同的芯片3进行匀胶过程中,需要频换的更换不同的定位夹具工装;而工装更换过程复杂,且需要时间较长。[0005]如图12所示,在更换过程中,需要拆卸两个夹具组外壳6、两个钳位板2、两个支撑架1,然后再更换另一技术规格的两个支撑架1和钳位板2,再对其进行中心位置校准,完成后安装两个夹具组外壳6,此时夹具工装的更换工作才结束,整个过程较为繁琐,需要拆或装12个部