一种晶圆激光雕刻机及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113579484A(43)申请公布日2021.11.02(21)申请号202011641685.X(22)申请日2020.12.31(71)申请人苏州威百斯特智能科技有限公司地址215101江苏省苏州市吴中区木渎镇金长路183号(72)发明人郭飞徐胜江林杰(74)专利代理机构苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙)32435代理人周亮(51)Int.Cl.B23K26/362(2014.01)B23K26/70(2014.01)权利要求书2页说明书6页附图7页(54)发明名称一种晶圆激光雕刻机及其使用方法(57)摘要本发明涉及一种晶圆激光雕刻机及其使用方法，所述雕刻机包括机箱、激光装置、控制装置及外壳；所述机箱上方设置有支撑架和支撑板；所述控制装置设置在所述机箱内和外壳上，所述外壳设置在所述机箱的上方，所述激光装置设置在所述外壳的内部；所述激光装置包括上下料装置、搬运翻转装置、识别装置、雕刻装置和第一传输装置；本发明能够对雕刻板进行机械翻板作业，满足双面雕刻需求，操作简单，使用方便，无需人工翻板，降低人力成本；本发明的拨叉和晶圆托盘均采用真空吸附对晶圆进行操作，不容易使晶圆破碎，有效地提高了生产的效率和产品的质量；实现了搬运翻转装置的灵活移动，应用范围更广。CN113579484ACN113579484A权利要求书1/2页1.一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，包括机箱(1)、激光装置(2)、控制装置及外壳(3)；所述机箱(1)上方设置有支撑架(101)和支撑板(102)；所述控制装置设置在所述机箱(1)内和外壳(3)上，所述外壳(3)设置在所述机箱(1)的上方，所述激光装置(2)设置在所述外壳(3)的内部；所述激光装置(2)包括上下料装置(4)、搬运翻转装置(5)、识别装置(6)、雕刻装置(7)和第一传输装置(8)；所述上下料装置(4)、识别装置(6)、雕刻装置(7)设置在所述支撑架(101)上，所述搬运翻转装置(5)设置在所述支撑板(102)上；所述第一传输装置(8)设置在所述上下料装置(4)、识别装置(6)和雕刻装置(7)的下方。2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述搬运翻转装置(5)包括第二传输装置(510)和翻转装置(520)；所述第二传输装置(510)包括滑块(511)、轨道(512)、第一移动装置(513)、第二移动装置(514)和第三移动装置(515)；所述滑块(511)上设置有第一平移板(516)，所述第一移动装置(513)上设置有第二平移板(517)，所述第二移动装置(514)位于所述第一平移板(516)和第二平移板(517)上方；所述第二移动装置(514)上设置有第三平移板(518)，所述第三移动装置(515)设置在第三平移板(518)上；所述第三移动装置(515)上设置有第四平移板(519)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述翻转装置(520)设置在所述第四平移板(519)上，所述翻转装置(520)包括旋转装置和拨叉(521)，所述旋转装置包括旋转气缸(522)和旋转接头(523)，所述旋转接头(523)和所述拨叉(521)固定连接，所述拨叉(521)上设置有流道。4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述上下料装置(4)下方设置有支撑梁(401)，所述上下料装置(4)包括料盒(402)和NG料盒(403)。5.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述识别装置(6)包括固定架(601)，所述固定架(601)上连接有连接杆(602)，所述连接杆(602)上设置有固定块，所述固定块上接有相机，所述相机为CCD，所述相机外部设有罩子。6.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述雕刻装置(7)包括支架(701)，所述支架(701)上设置有支撑台(702)，所述支撑台(702)上设置有激光器(703)。7.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述第一传输装置(8)上设置有驱动电机(801)和滑动装置(802)，所述滑动装置(802)上设置有第五平移板(803)，所述第五平移板(803)上设置有支撑座(804)，所述支撑座上设置有晶圆托盘(805)，所述晶圆托盘(805)和支撑梁(401)底部之间设置有支撑杆(806)。8.根据权利要求1所述的一种晶圆激光雕刻机，其特征在于，所述机箱(1)上设置有电源开关(103)、风扇(104)、排烟管(105)及门锁；所述机箱(1)下方设置有滑轮(106)和固定脚座(107)；所述外壳(3)包括钢架(301)，所述钢架(301)内设置有门(302)，所述门(302)上设置有门锁，所述门(303