硅片承载装置.pdf
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相关资料
硅片承载装置.pdf
本发明属于半导体设备技术领域,公开了硅片承载装置。该硅片承载装置包括承载机构、旋转机构和电滑环,承载机构设有若干个用以吸附硅片的吸附件;承载机构设于旋转机构上,能在旋转机构带动下在平面内转动,旋转机构中设有控制件和若干根通气管路,若干根通气管路一端均连接控制件,另一端连通吸附件,通气管路与吸附件一一对应;电滑环设于旋转机构远离承载机构的一端内部,电滑环与控制件电连接;旋转接头的旋转端设置在电滑环内,且通过供气管连接控制件,以能选择性地使若干个吸附件吸附不同尺寸的硅片。本发明能承载不同尺寸的硅片并能进行旋转
硅片承载装置.pdf
本发明涉及太阳能电池技术领域,提供了一种硅片承载装置。该硅片承载装置包括两块端板以及设于两块所述端板之间的多根支撑杆;所述支撑杆上沿其长度方向开设有多个用于插设硅片的齿槽,所述端板上开设有与所述支撑杆一一对应的安装孔;所述安装孔的内壁形成有第一限位结构,所述支撑杆的外壁形成有与所述第一限位结构对应的第二限位结构;所述第一限位结构和所述第二限位结构中其中一个包括限位凸条,另外一个包括两个平行设置的限位片,两个所述限位片之间形成用于容纳所述限位凸条的通道。本发明不仅便于硅片承载装置的拆卸、方便后期单独更换损坏
硅片双面抛光装置的承载件及硅片双面抛光装置.pdf
本发明实施例公开了一种硅片双面抛光装置的承载件及硅片双面抛光装置,所述承载件包括:形成有通孔的本体;衬入在所述本体的通孔中的环状的内衬,所述内衬用于容置硅片,其中,所述内衬具有多孔疏水结构,使得聚集在所述硅片的外周面与所述内衬的内周面之间的间隙中的抛光液能够经由所述多孔疏水结构中的孔隙疏散。根据本发明实施例的承载件能够使硅片的周缘处的抛光液的量减小,改善抛光程度不均匀性,提高硅片表面平坦度。
一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片.pdf
本发明实施例公开了一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片;所述承载装置包括由多根支撑杆组成的用于承载硅片的承载架;每根支撑杆包括:用于插放硅片的多个插槽;在所述插槽的相对侧沿周向方向均匀分布的多个凹槽,所述凹槽内允许清洗液流动。
一种改进型硅片承载装置.pdf
本发明公开一种改进型硅片承载装置,包括承载框以及多个承载盘;所述承载框包括多条横支承杆以及两组导轨组杆,所述多条横支承杆等间距设置,每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽;所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆;所述承载盘包括主体板以及限位件;所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。本发明结构简单,可拆装,节省板材原料,便于加工,并