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一种单晶短圆棒端面平整度检测工装.pdf
2023-05-23
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一条****涛k
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本实用新型涉及端面平整度检测设备技术领域,提供一种单晶短圆棒端面平整度检测工装,包括L型骨架、支撑件及百分表,支撑件固定连接于L型骨架的横臂、其可与单晶短圆棒的外圆面贴合,百分表滑动连接于L型骨架的竖臂;百分表的测杆位于单晶短圆棒轴线所在的竖直面内,测杆伸出后其探头可与单晶短圆棒的待测端面抵触、且通过百分表的滑动可对待测端面的平整度进行检测。本实用新型通过百分表3在L型骨架1的竖臂上滑动以测量单晶短圆棒8待测端面同一直径上不同两点的高度,并比对两点高度的差值即可判定待测端面是否凹凸或平整,从而避免产品流入
2023-05-23
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2023-10-19
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一种单晶硅棒加工装置.pdf
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2023-08-29
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