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除电方法和等离子体处理系统.pdf

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本发明提供一种除电方法和等离子体处理系统。本发明的一个方式的除电方法,其在用处理等离子体对吸附在静电吸盘上的基片进行处理之后,对静电吸盘和基片进行除电,其包括:步骤a,在所述处理之后,生成除电等离子体;步骤b,在步骤a之后,使施加到吸附电极的吸附电压停止;步骤c,在步骤b之后,将吸附电极与经由电阻部而接地的接地线路连接,其中,电阻部能够将电阻值至少设定为第1电阻值和比该第1电阻值小的第2电阻值中的任一者;步骤d,在步骤c之前,选择电阻部的电阻值;和步骤e,在步骤d与步骤c之间,将电阻部的电阻值设定为步骤d中所选择的电阻值。根据本发明,能够抑制异常放电的产生且调节电压下降时间。