一种图像对准方法及装置.pdf
书生****aa
亲,该文档总共23页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
一种图像对准方法及装置.pdf
本发明提供了一种图像对准方法及装置,其中,该方法包括:通过图像采集设备获取被测样品的初始图像,初始图像满足预设的对焦要求;在初始图像中确定初始角点;通过图像采集设备获取被测样品的当前图像;在当前图像中确定与初始角点对应的当前角点;调节被测样品和图像采集设备在x轴方向,和/或,y轴方向的相对位置,使当前角点位于初始角点所在位置;调节图像采集设备的焦距,和/或,被测样品和图像采集设备在z轴方向的相对位置,使图像采集设备获取的对准图像满足预设的对焦要求。通过实施本发明获取的对准图像不仅与初始图像的视场相同,而且
一种探针台图像定位装置及视觉对准方法.pdf
本发明公开了一种探针台图像定位装置及视觉对准方法,包括基座,设于基座上的XY平台、支撑架和第一相机;XY平台上设有载片台和第二相机,支撑架上设有探针卡和可水平伸缩的气缸,气缸的伸缩杆端部与标定块连接,载片台上设有晶圆,晶圆上设有m块被检测芯片,每个被检测芯片上均设有焊盘,标定块下表面位于第二相机上方,标定块上表面位于第一相机下方,探针卡上设有与各个焊盘对应的m个探针,晶圆位于第一相机下方。本发明具有能够根据针痕的位置对探针台的运动部件误差进行补偿,提高了设备的精度;能够自主完成对针操作,对针成功率高,效率
一种对准结构、对准方法及对准装置.pdf
本发明提供一种对准结构、对准方法及对准装置,包括:设置于第一半导体基板上的基准金属层及设置于第二半导体基板上对准区域内的金属对准标记,第一半导体基板与所述第二半导体基板上下叠置;基准金属层和对准区域的形状和大小均相同,且均为四边形;金属对准标记为多边形结构;其中,至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个边区域内,各金属对准标记的至少一条边与对准区域的边重合;或至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个角区域内,各金属对准标记的一个角与所述对准区域的角重合。本发明将光学测量套刻对准的方法改为了测量电容
一种红外光谱图像测量对准方法、装置及介质.pdf
本发明公开了一种红外光谱图像测量对准方法、装置及介质,方法包括红外定位目标、红外光谱探测器及视觉相机,所述红外光谱探测器探测所述红外定位目标形成红外光谱图像;所述视觉相机对所述红外定位目标进行实时图像采集形成相机实时图像;建立所述红外光谱图像与所述相机实时图像的空间映射关系,根据所述空间映射关系以及所述相机实时图像对准所述红外定位目标,红外光谱图像测量对准装置包括存储器、处理器及红外光谱图像测量对准程序,采用平行光路非成像光谱测量结合视觉相机方案,成本低,同时通过对所述红外光谱图像与所述相机实时图像进行标
一种半导体晶片图像对准方法.pdf
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种半导体晶片图像对准方法,该方法获取半导体晶片的灰度图像中的边缘像素点;均匀选取多个采样点,以每个采样点作为目标点,获取目标点的特征方向,初步设定一个数量阈值,当备选圆心对应的特征方向的数量高于数量阈值时,该备选圆心为真实圆心;获取每个真实圆心为实际圆心的第一概率和第二概率;以第一概率和第二概率的乘积作为对应的真实圆心的置信度;基于所有真实圆心的置信度对数量阈值进行更新,得到最佳阈值;在基于最佳阈值得到的真实圆心中筛选出实际圆心;基于实际圆心坐标和缺口特征点坐标获取晶片